核心技術(shù)1:功能性陶瓷材料生產(chǎn)流程
優(yōu)勢:全制程無污染,不排廢氣及廢水,研創(chuàng)公司制程方式,不受尺寸、面積及形狀的限制,彈性較大,適合各種新型粉末冶金靶材的制造。
核心技術(shù)2:合金靶材真空感應(yīng)熔煉技術(shù)
核心技術(shù)3:合金及陶瓷靶材熱壓(HP)制程 取得原料粉末后,比例秤重,以球磨的方式混合,然后填模及冷壓預(yù)成型,之后便進行高溫?zé)釅簾Y(jié)。 熱壓陶瓷及合金靶的制作流程 可應(yīng)用于AlTi/WTi/MoNa/MoK/CIGS/GeSbTe…等靶材生產(chǎn)
核心技術(shù)4:靶材與背板接合制程技術(shù)
靶材材料特性直接影響鍍膜性能,許多脆性金屬及陶瓷靶材無法直接濺鍍使用,必須與適當(dāng)背板接合才能順利導(dǎo)電及散熱,也才能正常發(fā)揮功效,靶材與背板結(jié)合需考慮背板材質(zhì)(強度及熱膨脹)、焊材種類及使用溫度的不同有所差異,研創(chuàng)應(yīng)用材料團隊可依客戶需求選擇適當(dāng)?shù)脑O(shè)計,以發(fā)揮材料的最佳性能。
核心技術(shù)5:超聲波探傷Ultrasonic Testing 研創(chuàng)公司有大型的超聲波探傷(4米)設(shè)備,可同時針對平面及圓柱靶材,進行非破壞性檢測.
核心技術(shù)6:柔性CIGS制程技術(shù)
核心技術(shù)7:研創(chuàng)HJT技術(shù)開發(fā)成果
2018年輔導(dǎo)江蘇愛康科技建立HJT的產(chǎn)能
核心技術(shù)8:關(guān)鍵設(shè)備-線蒸鍍源總程
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